‌中国在半导体领域一直面临卡脖子问题，尤其是光刻机这种核心设备，长久以来被西方企业把控。

ASML作为荷兰巨头，几乎垄断了全球高端光刻市场，特别是极紫外线EUV设备，只有他们能生产支持7纳米以下芯片的机器。价格高到3.8亿美元一台，还得用250个集装箱运，安装要半年时间。

过去几年，美国不断施压荷兰，2018年起就开始阻断ASML向中国出口EUV设备，2019年直接递交情报干预审批，2020年连出口许可证都停了。这直接影响中国芯片产业链，中芯国际等企业想买都买不到，只能靠老一代DUV设备硬扛。

结果呢，中国企业转而自力更生，2025年8月，杭州浙江大学成果转化基地投用了首台国产商业化电子束光刻机“羲之”。

这机器精度0.6纳米，线宽8纳米，不用传统掩膜版，直接用电子束在硅基上写电路，专攻量子芯片和新型半导体早期研发。取名“羲之”是因为它像书法家王羲之的笔一样，能在头发丝上刻出复杂图案。

研发团队来自中国科学技术大学和浙江大学量子研究院，项目启动时配件采购渠道被封，他们就靠自主设计，集成系统测试，避开国际禁运。相比ASML的EUV，这台设备不拼量产，而是填补研发试错空白，定价还低，华为海思等企业已经开始合作。

西方垄断从上世纪60年代就开始，全球顶尖EUV全出自ASML，他们的Twinscan系列分辨率达8纳米，对标3纳米工艺。只有英特尔、台积电和三星有使用权。

中国这一步，虽然不是直接复制EUV，但打开了新路径，电子束直写技术灵活，能反复修改图案，降低成本。这消息一出，ASML股价波动，2025年第一季度净销售额环比降16.42%，新订单跌44.47%，EUV订单只剩12亿欧元。

他们高层还说，中国要造出先进EUV至少要很多年。但事实摆在那，中国“羲之”已落地，不是概念机，而是能商业推广的商品。

从测试到市场对接，用时不到三个月。这不光是技术突破，还撬动了全球格局。中国芯片产业上游被卡太久，现在有了自己的刻刀，不再完全绕着走。

ASML垄断下的技术封锁与中国自研之路

ASML的强势地位不是一天形成的，他们从2000年代起就主导市场，EUV系统分Twinscan NXE和EXE系列，后者高数值孔径技术，分辨率8纳米。设备重15万公斤，安装需250个工程师，花6个月。全球只有少数企业能用，因为控制权成了外交工具。

美国从2018年施压荷兰首相，蓬佩奥亲自沟通，2019年白宫机密情报介入，冻结了中国订单。一台1.5亿美元的EUV设备扣在荷兰港口，没法交付。中国企业像中芯国际，本来签了合同，结果被卡死。

2020年后，连DUV设备都受限，出口战略收缩。中国芯片制造不光设计难，落地更难，没设备就没法量产先进工艺。面对这局面，中国团队没坐等，早在上世纪60年代就搞过电子束曝光大会战，北京、南京、上海十多个单位参与，但投入不足中止。

2000年后，瓦森纳协定限制高性能设备进口，中国才重启自研。“羲之”项目就是这背景下起步，依托省重点实验室，不依赖国外掩膜和材料。电子束系统100kV，能在硅基上自由作画，精度接近EUV，但方式不同，适合小批量试错。

团队把方向定准，服务量子芯片早期开发，不和ASML正面硬碰。结果，2025年8月14日投用，凤凰网和新浪科技报道，这台设备填补空白，打破60年垄断。

ASML当然不服，他们坚持中国还需多年，但市场数据打脸，2025年第一季度业绩下滑明显。中国路径不一样，通过电子束跳过掩膜逻辑，打开缺口。国内一批科研团队已基于“羲之”部署新路线，尤其量子器件和小规模制造有优势。

不同于ASML高成本重工程，这设备准入门槛低，正好切入中国芯片前期空白。代价有，但意义大，它没法一步到位，却开了门。门外是全球卡位，门内是中国多年积累。

ASML还强，市场绕不开，但变量出现了。“羲之”是起点，国产光刻从追赶转为自主前行。光刻机握话语权，中国现在有钥匙了。

“羲之”落地后的市场反应

“羲之”投用后，市场反应快，不到三个月就对接企业，华为海思展开应用合作。工程师指导安装，调整参数适应芯片图案。国内扩展电子束用处，构建独立链条。

ASML那边，2025年全年预期净销售额300亿到350亿欧元，中国销售占比降到20%。他们继续高数值孔径开发，设备模块化升级，但全球结构变了。中国提供新选项，科研单位用“羲之”优化设计。不同于ASML优先欧美，中国专注自研。

2025年9月，杭州基地扩测试，增加设备数量，准备批量。ASML会议讨论中国进展，语气审慎。半导体上游，光刻机掌控大局，中国自造钥匙，开启新门。市场竞争加剧，欧美供应持续，中国前行。

芯片战场中美脱钩迹象明显，中国策略阳谋：光源镜组自研，DUV国产化，EDA软件开发，用DUV量产7nm。从华为手机起步，半导体是全面战场。

“羲之”虽电子束，但精度高，专攻量子，避开EUV短板。ASML垄断EUV，但中国电子束填补研发隙。未来，中国可能走纳米压印或其他路。填补空白，堵不住路。中国方案撬旧格局，不再卡脖子。